--- title: 서보시스템 MINAS A7 | 어플리케이션 | 파나소닉디바이스세일즈코리아 description: MINAS A7 패밀리는 반도체 제조 공정에서 스핀 코터, 다이싱, 칩 이송기, 본딩 장치, IC 핸들러, 기판 검사 장치 등에서, 가공 기계에서는 금속 가공 기계, 레이저 가공 기계, 프레스 가공 기계, 사출 성형기 등에 활용 --- # 장치 성능을 끌어 올리는 A7 어플리케이션 ![header_bg04](https://idskr.panasonic.com/hubfs/IDBD/motor_motioncontroller/minas%20A7%20special/use-case/header_bg04.png) 미세화·가공 정밀도에 요구가 더욱 요구되고 있는 장치의 성능 향상에 기여 ## 반도체 제조 프로세스 반도체 칩의 미세화, 다층화에 대한 수요에 따라 각 제조 프로세스에서도 더욱 고속·고정밀한 제어가 요구됩니다. #### 스핀 코터 ![スピンコータ](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img1-1.jpg) 웨이퍼를 고속 회전시켜 약액을 균일하게 퍼뜨려 박막화에 기여합니다. 모터 최고 회전 속도 : 7150 r/min #### 다이싱 ![ダイサ](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img1-2.jpg) 위치 결정 정밀도 향상에 따라 웨이퍼에서 미세한 IC 칩의 형성을 실현합니다. 위치 결정 정밀도 향상 #### 칩 이송기 ![チップ移載機](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img1-3.jpg) AI 기반의 초정밀 보정 기술을 통해 툴 끝단의 미세 진동을 억제함으로써, 미세한 IC 칩의 고속 이송(Pick & Place)를 완벽하게 구현합니다. preAIcse (프리사이즈) TUNING #### 본딩 장치 ![ボンディング装置](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img1-4.jpg) 고응답 하중 제어 기술을 통해, 정밀 칩 실장 과정에서 발생할 수 있는 미세한 손상과 불량을 완벽하게 방지합니다. #### 센서 직결 피드백(압력 제어) #### IC 핸들러 ![ICハンドラ](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img1-5.jpg) 고부하 및 빈번한 가감속 구동 시에도 과부하 억제 제어를 통해 알람 정지 및 생산 다운타임을 줄여줍니다. 과부하 운전 시간의 확대 #### 기판 검사 장치 ![基板検査装置](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img1-6.jpg) 갠트리 2축(Dual-Aixs)의 고속·고정밀 모션 구현으로 검사 프로세스의 고속화를 실현합니다. 고정밀 갠트리 제어 ## 가공 기계 제품의 고기능화·고밀도화에 따라 제품을 구성하는 하나하나의 부품을 가공하는 기계에도 고정밀 제어가 요구되고 있습니다. #### 금속 가공 기계 ![img2-1](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/E/use-case/img2-1.jpg?width=769&height=341&name=img2-1.jpg) 정밀한 위치 검출 기술로 가공 오차를 최소화하여, 나노 단위의 초정밀 가공을 완벽하게 구현합니다. 엔코더 분해능: 27 bit 속도 응답 주파수: 4.0 kHz 이상 #### 레이저 가공 기계 ![金属加工機](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img2-2.jpg) 가공 대상물의 높이 편차를 고응답으로 보정하여, 균일하고 높은 품질의 가공을 실현합니다. 센서 직결 오토포커스 제어 #### 프레스 가공 기계 ![プレス加工機](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img2-3.jpg) 상위 프로그램 없이 간단하게 고응답  압력 제어용의 동작 패턴을  구축할 수 있습니다. 블록 동작 기능 #### 사출 성형기 ![射出成形機](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img2-4.jpg) 고응답 압력 제어에 의해 충전 압력을 안정화하고 충전 불량이나 버(Burr) 발생을 억제합니다. 센서 직결 피드백 (압력 제어) #### 파이프 벤딩 머신 ![パイプベンディングマシン](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img2-5.jpg) 서보 시스템 내 풀 클로즈 제어에 의해 위치 제어와 압력 제어 모두에서 고속 및 정확한 굽힘 가공을 실현합니다. 센서 직결 피드백  (압력 제어) ![](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hubfs/minas-a7/use-case/img2-6.jpg) [![btn](https://idskr.panasonic.com/hubfs/IDBD/motor_motioncontroller/minas%20A7%20special/common/btn.png)](https://idskr.panasonic.com/fa-motor/ac-servo/a7_special/catalog-download)